多晶硅硅芯发黑，大家觉得有那些因素引起的?

你们这个问题解决了吗

最好上个图片看下。是不是硅芯表面结了一层黑色的壳？ 应该是一层很薄的黑黄色物质，能被hf腐蚀掉

炉子启成时温度低，表面长的无定型硅

氢气少了，三氯氢硅还是液体就进炉子了。

置换不彻底 最好用抽真空的方法

我来学习学习。。。

置换时有死角，尾气阀门内漏，起炉有三氯氢硅液体进入炉内。

怀疑可能是不是由于微量氧化引起的变色

硅氧化会引起硅芯剥落，并且硅芯表面有明显的蓝色光泽

我个人觉得， 1：置换不干净。 2，置换气本身原因，质量不合格，包含氮气和氢气， 3：硅芯被污染或者质量问题， 4：系统有阀门内漏等系统问题， 5：进料时温度低，生产了无定性硅。 等等，大家可以想哈还有那些原因！

来学习来学习来学习

炉子启成时温度低，表面长的无定型硅 那如何确定黑色物质就是无定形硅？

硅芯着氧化了，起炉抽空问题

很多原因是置换不干净造成的 置换什么？空气吗？现在好多路子是h2启炉

应该是混合器进料温度低，或者炉体升温不够高，注意氢气纯度

很多原因是置换不干净造成的

硅氧化或氮化不会产生黑色，可能是无定形硅吧

你们呢的硅芯发黑出现在哪个位置？