40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿？-盖德问答-化工人互助问答社区

共7个回答

libainbren， 2023-03-31回答

兄弟用的多大电压？现在找到是什么问题了吗？

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气质.，工艺工程师 2022-01-17回答

我做的应该和您说的一样，中间阴影部分就是氧化铝，两个白条是电极

...
是不是金属边界有毛刺，刺穿了

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猫七姑娘，化工主管 2022-01-17回答

膜厚我用AFM测过，大概就是40nm,电极也没搭上啊，每次镀膜都是用光刻胶包裹的...
电极的最边界，您可以试下一个电极比另外一个电极小，然后居中排布，测试下氧化铝的绝缘特性

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长街听风旧巷，技术员（储备干部） 2022-01-17回答

我在想会不会跟金属电极的厚度有关系

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哪里都是你，设备维修 2022-01-17回答

如果膜层没问题，可能是边界电极搭上了？

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体面，设备工程师 2022-01-17回答

如果膜层没问题，可能是边界电极搭上了？
膜厚我用AFM测过，大概就是40nm,电极也没搭上啊，每次镀膜都是用光刻胶包裹的

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宝~~贝，化工研发 2022-01-17回答

电极的最边界，您可以试下一个电极比另外一个电极小，然后居中排布，测试下氧化铝的绝缘特性
...
我做的应该和您说的一样，中间阴影部分就是氧化铝，两个白条是电极

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