GaAs衬底清洗？

有机清洗就可以吧

GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后，碳化就麻烦了。

RAC的话是什么顺序呢？因为一号液就是氨水加双氧水，所以有点不太明白。
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RCA就是浓硫酸+双氧水

有机清洗之后也要用DI水冲洗，酸碱清洗后会腐蚀GaAs表面，表面微结构形貌可能会改变，不知道对你是否有影响
也打算选用有机洗，但是三楼说有机残留会碳化，有点担心。

一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的，而且厂家进行净化间里面清洗过，可以直接使用，中间不要暴露空气很长时间，很容易生成自氧化层
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已经在室内暴露

你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？...
一般来说GaAs衬底买过来应该是真空包装的，而且厂家进行净化间里面清洗过，可以直接使用，中间不要暴露空气很长时间，很容易生成自氧化层

有机清洗就可以吧
你有做过类似的实验吗，能不能洗干净？

GaAs不像硅一样容易被离子进行沾污，相对工艺窗口大一些。RCA的清洗方式是比较好的，后面再用氨水双氧水处理。也可以用络合了表面活性剂的碱液清洗。
最差的是有机溶剂清洗，因为一定会有有机沾污残留，进炉子以后 ...
RAC的话是什么顺序呢？因为一号液就是氨水加双氧水，所以有点不太明白。

也打算选用有机洗，但是三楼说有机残留会碳化，有点担心。...
了解，如果表面微结构不影响你试验的话，可以采用酸碱清洗流程，全面去除一层表面氧化层和有机物比较彻底了