有做砷化镓干法刻蚀的吗求教用什么气体？-盖德问答-化工人互助问答社区

共6个回答

谁为刀俎我为，设备维修 2019-09-14回答

我们经常刻的
能了解下工艺吗一般通什么气体都起什么作用呢

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活着.，给排水工程师 2019-09-14回答

可以做的BCL3和CL2

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你愿讲我便听，工程设计 2019-09-14回答

我想请问下为什么要用这两个气体各起什么作用呢
...
BCl3物理轰击，Cl2化学反应

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老街后街，化学工艺工程师 2019-09-14回答

可以做的BCL3和CL2
我想请问下为什么要用这两个气体各起什么作用呢

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自勉，化工工艺工程师 2019-09-14回答

我们经常刻的
你好，请问下BCl3和Cl2的流量各是多少呢？

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野冢.，Sales 2019-09-14回答

我们经常刻的

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