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问:油脂化工中什么是砷化镓外延片专家解答?
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wul小仙女,设备工程师
2018-03-13回答
砷化镓外延片 英文名称: gaas epitaxial wafer cas号: 分 子 式: 简要概述内容:: 在特定晶向[(100)或(100)偏向最近<110>2~5的晶面]砷化镓衬底上外延生长的单晶薄层材料外延工艺有lpe、vpe、mocvd、mbe、cbe、ale等工业选择取决于器件结构等因素,一般lpe、vpe多用于商品化器件,如光探测器、霍尔器件等。mbe、cbe、ale多用于最子阱超晶格材料。mocvd两方面兼而有之。
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砷化镓
CAS No:1303-00-0
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