关于六氯化钨高温处理危险性？

1、WCl6是共价化合物，常温下虽然是固体，但却易升华，在1000度这样的高温早就变为气体了。2、WCl6的危险性还是在与水（/蒸气）接触而水解（不会被氧化），而释放出有毒气体HCl。3、如果在高温下用H2还原，发生 ... 您好，请教个问题，我最近看文献有人用WCl6做气相沉积CVD，但是WCl6是固态，怎么能变成气态通进去呢?（是加热蒸发吗）谢谢，

1、WCl6是共价化合物，常温下虽然是固体，但却易升华，在1000度这样的高温早就变为气体了。2、WCl6的危险性还是在与水（/蒸气）接触而水解（不会被氧化），而释放出有毒气体HCl。3、如果在高温下用H2还原，发生的也只是气相反应，浓度也不可能高，反应也远谈不上剧烈。除了有毒气体泄漏方面的安全性隐患外，没有别的危险。因此只要保证系统的气密性以及尾气处理外，没有别的安全问题。

谢谢，通过载气鼓泡是不是整个输气管道都要加热，要不然会凝结在输气管上呢？... 你做CVD需要那么高浓度吗？一般都是再度用载气稀释的。

WCl6的蒸气压还是较高的，只要适当提温成液体，再通过载气鼓泡就可以了。... 谢谢您，这样是不是不好控制流量大小？打算沉积WC用氟化钨是不是也可以，直接可以用气态的

1、WCl6是共价化合物，常温下虽然是固体，但却易升华，在1000度这样的高温早就变为气体了。2、WCl6的危险性还是在与水（/蒸气）接触而水解（不会被氧化），而释放出有毒气体HCl。3、如果在高温下用H2还原，发生 ... 谢谢您！

您好，请教个问题，我最近看文献有人用WCl6做气相沉积CVD，但是WCl6是固态，怎么能变成气态通进去呢?（是加热蒸发吗）谢谢... WCl6的蒸气压还是较高的，只要适当提温成液体，再通过载气鼓泡就可以了。