石墨烯破裂很正常，我四年多时间转移了不少于1500块样品了，少许的破裂很正常。你的方法我看了倒没有大的问题。不过针对石墨烯转移，有些方面可以提到助于提高石墨烯的完整度。1. 旋涂PMMA过程，转速不宜太高，以免PMMA太薄，我个人常用3000 rpm 一分钟。2. 旋涂完PMMA的样品干燥了以后再去丢到刻蚀液中去刻蚀，有些人在这步还对样品事先加热了一下也可以。比如90度热台处理几分钟，让PMMA贴合的更好。（另外刻蚀前反面的G要先用plasma打掉）。3. 刻蚀的过程，0.2-0.5M的刻蚀液会好一些。4.将PMMA/G样品捞出水面的时候，尽量确保硅基底和G的界面没有肉眼可见的气泡，因为漂浮在液面的G的下面部分会吸附一些气泡，这个气泡很可能在干燥过程中引起开裂。5. 热处理的温度我个人建议不要这么高80-120可以了。至于你说的不做亲水处理的硅基底G没有破损，因为亲水后的表面在捞G的时候，水分子层更容易到G与SI界面，导致样品容易滑移引起开裂吧。如果是这样的话，就不需要做亲水处理了。
