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化学学科
氮化硅(SiNx)刻蚀?
ICP腔室刻蚀Si后,刻蚀SiNx的plasma不能正常工作。
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共4个回答
娇宠知恩,设备维修
2020-11-01回答
不能正常工作是不能启辉,还是反射功率过大,还是刻蚀工艺漂了?
6
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双木.耳东.,设备工程师
2020-11-01回答
您好,我在淄博做氮化硅的,想做刻蚀,能去您那边吗
16
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木樨当归,研发员
2020-11-01回答
有残留物没清干净吧
12
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仙子上仙,工艺员/技术员
2020-11-01回答
不能工作指的什么,你应该描述出来
4
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用Miyaura 硼基化反应制备2位硼酸吡啶,急急急!!!?
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