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氮化硅(SiNx)刻蚀?

ICP腔室刻蚀Si后,刻蚀SiNx的plasma不能正常工作。

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共4个回答
不能正常工作是不能启辉,还是反射功率过大,还是刻蚀工艺漂了?

您好,我在淄博做氮化硅的,想做刻蚀,能去您那边吗

有残留物没清干净吧

不能工作指的什么,你应该描述出来

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