请问，抽真空，加热，充惰性气体，这三个步骤的配合工艺是怎样呢？
我现在设计的是先抽真空，抽到炉子所能达到极限后充氩气，同时继续抽，在达到真空度后开启加热，加热过程充氩气和抽真空不停。
不知您有什么建议 ...
不需要抽不停，抽到真空极限后充氩气至正压，测一下氧含量，若达到要求，可以开始加热烧结。若氧含量偏高，可以继续充入氩气，充入多少氩气要看你的真空炉能承受多少压力了，如果炉体承受压力有限，可以边充入氩气边放出炉内气体。充放氩气的过程中，一定要保证炉内正压，这样炉氧含量会和氩气纯度保持一致。在升温过程和最终烧结温度，观察氧分析仪，氧含量若升高到超出要求，充入氩气重复前面的过程就可以了。上面所说只针对氧含量的控制方法。如果你需要在真空度比较高或负压条件下烧结，而真空度又达不到，可以采用你的方法，就是边抽真空边充氩气。边抽真空边抽氩气是否达到了氧含量的控制目标可以用简单的方法判断，一种是有些氧分析仪自带抽气功能，能把炉内气体抽出来检测氧含量，一种是停止抽气，再充氩气至正压，测量氧含量然后换算成边抽边充时的氧含量。如果氧含量控制符合要求，那就OK，若果氧含量偏大，可以通过调整抽速和氩气流量来控制。试验几次，应该能达到你所希望的控制要求。
