PVD镀膜处理室内出现很多灰尘，工件架呈现很多种颜色？

第一幅图是工件架，呈现多种颜色，这是为什么？
第二福图是炉腔，看到底面上有很多的粉尘？
第三幅图是镀膜在硅片上的涂层，有很多涂层都崩落了。

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共9个回答

是多弧离子镀吗

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要及时清理掉，腔室涂层。

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彩色的应该是氧化物，真空没抽够吧？

多抽一会（比如抽一整天，用Ar purge），然后纯Ar（正常溅射气压就行）溅射几小时，你看看问题解决没。

没解决咱们再聊，还有别的可能。。。

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你们采用的是磁控溅射还是阴极弧？？

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很多种颜色是因为不同位置膜厚不一样呈现出来的。掉很多粉尘是因为镀膜多次后护板上应力太大膜厚太厚附着力不够掉下来的吧？硅片脱膜是不是清洗不干净或者应力太大？

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真空度够了的，有10-3pa，硅片崩落薄膜应该是应力太大了，但是膜层并没有很厚啊，怎么解决呢

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真空度不对，靶灰。

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你们采用的是磁控溅射还是阴极弧？？
阴极弧

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真空度不对，靶灰。
有靶灰真空度是大了还是小了

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