提问
 
盖德化工网  >  盖德问答  >  溅射出来的Ti薄膜，...
材料科学

溅射出来的Ti薄膜，阻值过大？

想用Ti来打底，做Au的粘附层，目前溅射出来的Ti阻值都偏大，一次300多欧，一次8到10k欧，参数上300多欧，请问可以从哪些参数上来调整减少阻值，图一是300多欧，图二是8k多欧，图二的颜色有点偏蓝







展开
0评论 +关注
共5个回答
爱我吗，销售 2019-08-30回答
溅射源功率和真空度可以吗

18 评论 0 举报
甜诱，设备维修 2019-08-30回答
可能已经部分氧化了生成了TiOx， 建议测个XRD.
20 评论 0 举报
老街后街，化学工艺工程师 2019-08-30回答
沉积膜厚一点，也就是延长时间，会好一点吗

8 评论 0 举报
玄策，守约，销售经理 2019-08-30回答
溅射源功率和真空度可以吗
第一个150w，第二个100w，真空都是负4次方了

1 评论 0 举报
止水诱棠，气化主操 2019-08-30回答
还有退火温度

10 评论 0 举报
相关问题
锂硫电池充电容量太低怎么回事，求解释? 1个回答
LDS 798 染料的量子效率是多少? 1个回答
上转换发光的缺点? 2个回答
硼氢化钠还原金属离子后处理没有进行猝灭，对金属催化反应有什么影响? 1个回答
万能朋友圈，有认识研究镀膜方向的研究生，技术人才或者教授吗，我有实验方面的问题，请教下！！? 3个回答
编辑推荐
三价铬溶液颜色问题？ 15个回答
能否用离心代替旋蒸去除乙醇? 2个回答
想请教下靛蓝染料在紫外分光光度计下吸收的问题？ 4个回答
硫酸钙结垢，用什么清洗掉? 4个回答
氰基取代苯环上的卤素的反应条件? 0个回答
 
请填写举报原因
选择举报原因
 
增加悬赏
剩余能量值
能量值