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石墨烯破损原因?

最近转移了一片石墨烯,光刻后没出现问题,但在长金属,做完lift-off后石墨烯破损,很严重,且石墨烯上的金属也掉了,石墨烯外的金属没有额掉。有大佬知道什么原因吗?谢谢啊,我用的是NMP做的lift-off,是溶剂的原因吗?







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共3个回答
有没有大佬知道啊?

金属膜应力

金属膜应力
没有金属接触的石墨烯也破了,金属只有100nm左右

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