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磁控溅射,在Si片上镀上一层Pt,做XRD测试,32°-36镀之间出现一个又宽又矮的峰?

磁控溅射,在Si片上镀上一层Pt,做XRD测试,理论上只有39°左右的峰,但现在在32°-36镀之间出现一个又宽又矮的峰,请教大家这个多出来的是什么?


Pt.PNG
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共8个回答
是不是Si片?
不是硅片的峰
不妨退火处理一下
你好,请问这个峰是怎么来的?是因为结晶度不好?
硅吧

测试设备原因
我也觉得是测试设备的原因,在另外的机器上测试没这个峰的,但设备管理人员也不知道是什么问题。
这个鼓包应该是非晶

测试设备原因

是不是Si片?
不是硅片的峰
设备原因

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