除了等离子体，用激光刻蚀石墨烯薄膜靠谱吗?

有大神用过吗？那种更稳定一些啊，用等离子体刻蚀去除光刻胶我怕我的样品挂了。。样品厚度25μm，像纸张一样

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共3个回答

十八嫂.十八哥，工艺专业主任 2019-09-14回答

可以用激光刻蚀做，我搞过，确定可以

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喵喵喵，电仪主管 2019-09-14回答

我用过RIE的氧气等离子体刻蚀过石墨烯，只要控制功率和时间，一般不会刻蚀掉光刻胶，我刻蚀也就60s左右，时间不能太长的！具体可在交流！

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宝~~贝，化工研发 2019-09-14回答

我用的是ICP，石墨烯用氧气刻是层层刻蚀的，时间长了它被刻蚀的面积会整体变薄吧。你时间短刻蚀的，它表面出现了一个一个的小孔吗？你只做了有光刻胶的吗？

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