羰基钨是一种重要的有机金属化合物，它是由过渡金属钨与一氧化碳配体形成的配合物。羰基钨通常为六配体，即六羰基钨（CAS号：14040-11-0），英文名为hexacarbonyltungsten，分子量为351.9。它是一种有毒的白色粉末，在有机合成领域有广泛的应用。它可以与烯烃、快烃、重氮甲烷、睛等发生插入反应，生成各种有机钨化合物。此外，利用羰基钨的配位体进行分子间的置换或交换反应，可以制得简单取代的有机钼、钨化合物，也能制备较为复杂的双核络合物。
羰基钨络合物由于其热分解温度较低，分解产物仅为金属和一氧化碳，尾气无腐蚀、易处理，因此被广泛应用于有机金属化学气相沉积技术制备膜材料。与传统的钨卤化物化学气相沉积相比，羰基钨作为前躯体材料具有更多的优势。然而，由于羰基钨相对难以获得，目前研究较少。传统的钨卤化物化学气相沉积制膜技术存在温度高、产生有毒气体、设备腐蚀严重、尾气处理复杂等问题，限制了其应用研究和产业化开发。
目前合成羰基钨的方法常采用新还原的活性金属钨或钼与一氧化碳进行高压羰基化反应制取。改进的方法是先将钨的氧化物或卤化物于800℃以上氢气还原后，再直接通入高压一氧化碳进行羰基化反应，可以提高合成产率。然而，市面上销售的六羰基钨试剂中含有较多的金属杂质和无机水的杂质，需要进一步提纯才能得到高纯度的羰基钨。提纯方法包括除水、升华和真空操作等步骤，以获得可用于半导体工业的高纯羰基钨。
[1] [中国专利 CN114790009] 高纯六羰基钨的提纯方法
[2] [中国专利 CN102070180] 一种合成六羰基钨或钼络合物的方法
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