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等离子氢化?

求助等离子氢化工艺的大概情况?
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参阅专利us4309259,us4542004,还有冉祎;兰天石;覃攀;戴晓雁;印永祥;;等离子体还原sicl_4一步法制备多晶硅 ... 谢谢你的帮助
等离子氢化毫无意义..............等离子需要使用在附加值更高的场合或者普通加热方式根本不能引发反应的条件下......
参阅专利us4309259,us4542004,还有冉祎;兰天石;覃攀;戴晓雁;印永祥;;等离子体还原sicl_4一步法制备多晶硅实验研究[j];人工晶体学报;2007年04期等。
忽悠而已,没有工业时间价值。
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