制备膜是在什么真空条件下?

1.问：??各位从事膜制备的同事们，请问你们一般制备高分子膜材料时，例如下列a.溶剂挥发b.物理沉积的方法时，是在什么真空条件下完成的？（旋涂、热压成膜、相转化、挤出拉伸、静电纺丝等除外）我所在实验室直接用旋片式机械油泵抽的真空烘箱里溶剂挥发，总感觉油会污染真空环境。怎么消除呢?2.化学气相沉积需要怎样的设备和抽真空时也会有油污染吗？3.有没有通过聚合物溶液制备致密均匀膜的其它方法喃？