三甲基铟是一种无色透明的升华性针状结晶,具有特殊臭味。它可以与多种脂肪族和芳香族烃相溶,最高允许浓度为0.1mg/m3。高纯三甲基铟是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)和化学束外延(CBE)过程中生长光电子材料的重要原料。
将硅胶粉分散于盐酸水溶液中,经过酸化处理和添加化合物,得到接枝二氧化硅。将接枝二氧化硅装入层析柱中,进行冲洗,得到第一层析柱。再将硅胶粉装入层析柱中,得到第二层析柱。
以特定原料和溶剂进行合成反应,得到纯度为85.0%的三甲基铟。通过层析柱的处理和加热解配,提纯三甲基铟。经过ICP-OES和NMR分析,确认纯度为99.9999%(6N)。
[1]精细化工辞典
[2][中国发明,中国发明授权]CN201510239288.2高纯三甲基铟的制备方法