亚磷酸三烷基酯作为亲核试剂与卤代烷反应，可以生成烷基膦酸二烷基酯和一个新的卤代烷。这种反应可以用于制备烷基膦酸酯，是一种常用的方法。
除了卤代烷，还可以使用烯丙型或炔丙型卤化物、a-卤代醚、a-或b-卤代酸酯、对甲苯磺酸酯等进行反应。当亚酸三烷基酯中的三个烷基不相同时，总是先脱除含碳原子数最少的基团。
亚磷酸三烷基酯可以由醇与三氯化磷反应制得，因此可以通过醇制备卤代烷。如果反应所用的卤代烷的烷基和亚磷酸三烷基酯的烷基相同，则可以进行Arbuzov反应，生成烷基膦酸酯。
除了亚磷酸三烷基酯外，亚膦酸酯RP(OR')2和次亚膦酸酯R2POR'也可以发生类似的反应。
该类反应一般认为是按SN2进行的分子内重排反应。一级卤代烷通常可以很好地进行该反应，而大部分二级和三级卤代烷无法反应。除了卤代烷，苄卤、卤代酯、酰卤和氯甲酸酯也可以参与反应。
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