harrick plasma和国产等离子清洗机的区别，怎么选？

哦，你们也是用这个型号啊，我们现在用的话有一个问题想请教一下，就是我们要用等离子清洗做氧化铝陶瓷基板和芯片键合的试验时，后面两条通气管你们会通入什么气体，气体流量、调节功率和清洗时间的工艺参数要怎么设置的，键合力才会有提高的？

等离子清洗机实话说技术含量不是很高，就是一个高压电源发射射频，在低压环境下产生等离子，harrick和国产我都用过，可以说一下，其实原理都是一样的，国产因为这几年才开始做，在使用便利性方面有优势，比如我们买的国产的，可以触摸屏控制，双路气体接入，还贴上简易操作说明，实验室不管谁来用，一看就懂得操作，我们做PDMS处理的，进口和国产效果没啥区别。

哦，你们也是用这个型号啊，我们现在用的话有一个问题想请教一下，就是我们要用等离子清洗做氧化铝陶瓷基板和芯片键合的试验时，后面两条通气管你们会通入什么气体，气体流量、调节功率和清洗时间的工艺参数要怎么设 ...
你可以通入氩气，最好不要通入氧气，因为污染物就是空气氧化物，气体流量大概在60ml／min，功率可以设置120w，清洗时间480秒左右，但是具体情况要还要具体分析，你可以在功率，气体流量，清洗时间三个因素之间设计个实验，固定某一个因素，最后通过比较它们键合拉力增长率来确定具体设置参数。

专业做等离子体清洗设备，有需要可以联系！