MPCVD波导三销钉调试方法？

奋斗在科研路上的朋友们大家好！
   本人研一小学弟一枚，目前因为实验室搬家，导致MPCVD设备激发的等离子体球有点诡异。目前情况如下：
   当气压低于840Pa，在腔体内产生两个等离子体球。
   请各位大牛指点下，有木有调试三销钉的经验方法。
   感激不尽！

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共7个回答

840pa是激发还是工作？

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你用的是不是圆柱的等离子体设备啊，当气压低的时候出现两个火球，调节三销钉是没什么效果的，除了三销钉可调外天线是否可调节，你可以加我qq 376157988
三销钉没敢动，天线和样品台的高度都有反复调过

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你用的是不是圆柱的等离子体设备啊，当气压低的时候出现两个火球，调节三销钉是没什么效果的，除了三销钉可调外天线是否可调节，你可以加我qq 376157988
是的，当气压低于900pa.有两个等离子体球，且等离子体球的位置也不是正好在样品台上，而是偏上约一拳距离。当气压增大，球就比较圆。

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840pa是有点低，激发出两个等离子体，说明目前有两个谐振点，可以先通过调节耦合天线调谐，然后再调节短路活塞与三销钉阻抗。我主要做仿真的，计算过几种设备，可加我qq，1152691927

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840pa是激发还是工作？
激发，工作在2k到4kpa

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你用的是不是圆柱的等离子体设备啊，当气压低的时候出现两个火球，调节三销钉是没什么效果的，除了三销钉可调外天线是否可调节，你可以加我qq 376157988

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请问一下，MPCVD装置电流维持在150 mA,调节不上怎么回事

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