三氟化氮（NF3）是一种稳定的无机化合物，可以通过铜的催化作用下由氨气和氟气制备而成。它在氟化氢激光器的氧化剂、半导体、液晶和薄膜太阳能电池的蚀刻剂中有广泛的应用。此外，它曾被尝试用作火箭燃料。然而，由于三氟化氮是一种温室气体，会加剧温室效应，因此有人主张限制其使用。
三氟化氮广泛应用于半导体技术、高能激光器和化学蒸汽淀积。与元素氟不同，氟化氮在高压条件下可以转变为凝聚态，并且具有高堆积密度（氟化学杂志，1991，54，No.1～3，P37）。
CN1384049A公开了一种制备三氟化氮的新方法，该方法在半导体、高能激光和化学蒸汽沉积等技术中得到广泛应用。该方法通过在无水氟化氢中使用尿素或其解产物与元素氟进行反应，在温度为-20℃至0℃，且氟对起始化合物的摩尔比不超过3的条件下制备三氟化氮。起始化合物的浓度最好为20%至50%（重量）。该方法具有爆炸安全性，且产品中三氟化氮的含量最高，混合物的浓度最低，产率可达90%。
三氟化氮在加热时会分解，产生含有氟的有毒烟雾。它是一种强氧化剂，会与可燃物质和还原物质发生反应。与氨、一氧化碳、乙硼烷、氢、硫化氢、甲烷和四氟肼等物质剧烈反应，存在爆炸的危险。它还会腐蚀金属，并在遇到电火花时分解。
长期或反复接触三氟化氮可能对肝脏和肾脏产生影响，长时间吸入可能导致氟中毒。
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