求助：直流磁控溅射Ti靶，在高功率低腔体气压下溅射，靶材打花了？

1：Ti靶在300W的溅射功率下，出现如图的情况，是否正常？对后面该靶继续使用是否有不利的影响。
2：靶材能承受的最大的溅射功率/溅射电流是由什么决定的

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共6个回答

这个钛靶晶粒尺寸太大了，肉眼都能看到雪花片，明显不合格。换个好靶再弄呗
雪花片状是实验后形成的。
后续的实验会导致靶材的质量变差？

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靶中毒了呗，每次溅射前打掉表面的一层

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应该不影响，不过可以将表面的一层先打掉在继续使用

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不影响，这是正常现象。

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这个钛靶晶粒尺寸太大了，肉眼都能看到雪花片，明显不合格。换个好靶再弄呗

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这个钛靶晶粒尺寸太大了，肉眼都能看到雪花片，明显不合格。换个好靶再弄呗
没实验之前靶材是正常的，加大功率到达300W的时候就成这样了。换用不同的靶材这个功率下都是大概这种情况。

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