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氮化硅SiN膜上光刻后溅射钛Ti或金Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况?

SiN膜上光刻后做溅射工艺,溅射Ti或Au后出现光刻胶PR鼓泡的情况,朋友门有遇到这种问题的吗?
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共2个回答
溅射温度高所以起泡,正常不影响剥离

溅射温度高,可以降低沉积温度;轰击能量高,试着降低沉积功率;
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