三氟化砷是一种无色透明液体，具有毒性。它的相对密度为2.666，熔点为-8.5℃，沸点为-63℃(752×133.322Pa)。在742.5×133.322Pa压力下，它在-5.95℃时凝固。三氟化砷可以溶解于乙醇、乙醚、苯和氨水。它在空气中会产生烟雾，在潮湿环境下容易侵蚀玻璃。它具有很强的渗透性，能够灼伤皮肤。当与水接触时，三氟化砷会分解生成三氧化二砷和氢氟酸。三氟化砷可以通过砷与氟直接化合或三氧化二砷与无水氟化氢反应来制备。它被广泛应用于氟化剂和有机合成领域。
三氟化砷最早是由Dumas在1862年发现的，他使用过量的浓硫酸处理氟化钙和三氧化二砷的混合物进行制备。随后又发展了其他一些制备三氟化砷的方法。其中一种方法是使用金属砷的直接氟化物进行制备，然后通过精馏方法对粗产品进行纯化。这种方法工艺简单，操作容易，对设备腐蚀小，产物易于分离纯化。
三氟化砷在微电子器件制造工艺中是一种重要的基础材料，它的质量直接影响到产品成品率和器件性能。此外，三氟化砷还可以用作医药合成中间体，例如制备氟化氢。通过将含有三氟化砷的粗氟化氢与金属氟化物氧化剂进行液液反应，可以降低氟化氢中的砷含量。然后通过分离器从反应混合物中分离精制氟化氢，得到砷含量较低的精制氟化氢。
[1] 无机化合物辞典
[2] 半导体使用气三氟化砷的研制
[3] CN200980147806.0氟化氢的精制方法
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