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四氟化碳有哪些特性和用途? 1

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四氟化碳是一种无色、无臭、有轻微醚味的气体,在常温常压下稳定且无毒。然而,在高温或与可燃气体一同燃烧时,会释放出有毒的氟化物。此外,它还能与二氧化碳形成羰基氟。虽然微溶于水,但在25℃和101.325kPa的条件下,其水溶解度仅为0.0015%(重量),同时也有轻微的水解作用。

Carbon tetrafluoride.png

四氟化碳的用途

四氟化碳是一种不燃烧的无色、无味的压缩气体,通常储存在四氟化碳钢瓶中,其饱和蒸汽压约为2000 psig。它在微电子工业中被广泛应用于等离子蚀刻,可用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和钨等薄膜材料的蚀刻,以及电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态和印刷电路生产中的去污剂等领域。此外,由于四氟化碳的化学稳定性,它还可以用于金属冶炼(如铜、不锈钢、碳钢、铝、蒙乃尔等)和塑料行业(如合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯)。

使用四氟化碳需注意的事项

四氟化碳是一种不燃性压缩气体,应储存于阴凉、通风的仓间内,避免超过60℃的温度。它应远离火源和热源,防止阳光直射,并与易燃或可燃物分开存放。在验收时要注意品名和验瓶日期,先进仓的先发用。搬运四氟化碳时要轻装轻卸,以防钢瓶及附件破损。在泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源,合理通风以加速扩散。如有可能,应立即使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再使用。

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