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旋涂问题，求助~~~~？

请问在叉指电极上旋涂敏感材料，怎么旋涂法?和旋涂胶一样吗？怎么避免不旋涂到pad上啊

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共5个回答

抛去江山如画，高级研发工程师 2020-10-08回答

后面光刻对准，显影把pad图形漏出来

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是妳，销售 2020-10-08回答

怎么都避免不了吧(╥ω╥`)
那你们怎么弄?

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你入我心，项目文控 2020-10-08回答

后面光刻对准，显影把pad图形漏出来
你们是先旋涂材料，再光刻显影?

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阿璟，化工研发 2020-10-08回答

你们是先旋涂材料，再光刻显影?
...
做2个mask，后一层主要显影出pad

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九曲，研发部主管 2020-10-08回答

怎么都避免不了吧(╥ω╥`)

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