小弟最近开始接触光刻,自己做了几次,也了解了光刻的原理,根据光刻形成的梯形与倒梯形,我知道做lift-off时最好用负胶形成倒梯形,这样蒸镀的金属膜不会连成一片有利于溶剂渗进去溶解光刻胶。做lift-off听说反转胶AZ5214E比较好用,但是我们这边没有,只有SU8的负胶,我拿2005和2015分别做了两个片子,现在用丙酮泡着,但是去胶效果不明显,感觉也很容易把直接蒸镀在硅片上(也就是我想要的pattern)的金泡下来。而做pdms通道的时候,是不是建议用正胶,这样形成正梯形,后期揭pdms的时候不会刮伤通道。请教一下大家,去胶有没有更好的方法,以及小弟对正负胶的使用的理解有没有错误
贴图是我用SU8 2005做的一个片子,手艺不行