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化学学科 材料科学

磁控溅射Pt Ti薄膜附着力差？

如题，请问如何增加这两个薄膜的附着力，想用来做底电极，却附着力总是很差，有什么参数可以调吗？功率，温度，压强上面，目前做过50w 200度加热的效果不太好，丙酮超声就掉

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共3个回答
想哭，机修 2019-12-17回答
Liftoff时超声吗，超声调小一点就行了

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书生狐妖，给排水工程师 2019-12-17回答
Ti层稍微溅射厚一点就不怕了

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别了――，设备工程师 2019-12-17回答
先镀ti再镀pt

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