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小尺寸硅片匀胶出现晕...
化学学科
小尺寸硅片匀胶出现晕环?
在对小尺寸硅片进行匀胶时(尺寸为10mm*10mm),出现了晕环,在更大尺寸或甚至更小(2*2mm)的硅片则没有看到此现象。
用的胶为ARP5350,尝试过多种转速,均有此现象,求解!
万分感谢
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共3个回答
想哭,机修
2022-03-02回答
建议看看是不是托盘不合适或者喷嘴偏离衬底中心
3
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Fckle.,给排水工程师
2022-03-02回答
这是涂的不均匀
11
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小黄静,售后技术工程师
2022-03-02回答
晕环问题跟两个因素相关,一个是因为胶粘度比较大;另一个原因就是面积小的硅片,胶在甩出的过程中很快就遇到了边缘阻力所以晕环更为明显,可以尝试涂胶后,先使得胶能比较好的分散在片子上再旋涂,或者增加第一步低转速的时间。
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