催化臭氧氧化废水技术利用催化剂活性中心的作用，通过臭氧强氧化，改变难降解有机物分子的结构，使其转变为易于生化降解的物质分子，从而实现降解消化，有效降低污染程度。
催化臭氧氧化废水技术的处理过程包括调节池稳定化、沉淀过滤、药剂絮凝沉淀过滤、碱性调整、臭氧催化氧化、水解酸化、接触氧化、二沉池沉淀和吸附过滤等步骤。经过这些步骤处理后的水可以达到回用或排放的标准。
催化臭氧氧化废水技术的特点在于充分发挥臭氧的氧化分解作用。臭氧在碱性溶液中产生羟基自由基，具有高的电极电势、强的氧化性和高的电子亲和能，能与废水中的难降解有机物快速反应。在催化剂活性中心的作用下，臭氧产生羟基自由基的效率大幅提高，降解污染物的效率也显著提高。
催化臭氧氧化废水技术相比传统的臭氧氧化技术具有明显的经济效益。由于催化剂活性中心的存在，臭氧在碱性条件下产生羟基自由基的效率提高了2倍，降解污染物的效率也相应提高。在相同效果下，催化臭氧氧化废水技术的电耗量节省了30%。此外，催化臭氧氧化技术只在将大分子难生化物质转化为小分子可生化物质的特定阶段发挥作用，后续的生化工艺可以彻底降解去除小分子可生化污染物质，从而节省了投资和运行费用。
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