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北大微纳加工平台PECVD做SiC薄膜?

请问有没有人知道北大微纳加工平台可以对外做PECVD碳化硅薄膜吗,或者其他机构科研院所也可以展开合作
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共3个回答
我这边有muegge成套的微波PECVD装置,是从光伏企业氮化硅镀膜设备拆机的。
我们有PVCD设备可对外出租合作,如有需求站内联系。
您这边还需要吗

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