如何制备和应用1-乙烯基-N-(乙烯基二甲硅基)-1,1-二甲基硅胺? ¹

1-乙烯基-N-(乙烯基二甲硅基)-1,1-二甲基硅胺是一种无色透明液体，可用于制造硅树脂橡胶、硅树脂胶体和乙烯基硅树脂。它还可以作为负性光刻胶的助黏性促进剂。

制备工艺

四甲基二乙烯基二硅氧烷可以转化为1-乙烯基-N-(乙烯基二甲硅基)-1,1-二甲基硅胺。制备工艺包括以下步骤：

1. 酯化反应：将浓硫酸、四甲基二乙烯基二硅氧烷和石油苯混合搅拌，控制温度在60℃以下。反应结束后，分离上层产物。

2. 氨化：将上层产物导入氨化釜内，控制温度和压力，通入氨气进行反应。反应结束后，进行水洗和分析。

3. 精馏：将清液进行精馏，分离出目的产物1-乙烯基-N-(乙烯基二甲硅基)-1,1-二甲基硅胺。

根据上述工艺，可以制备出751.2kg的1-乙烯基-N-(乙烯基二甲硅基)-1,1-二甲基硅胺，收率为94.3%。

应用

该化合物可以应用于处理多孔超低介电常数层。一种方法是在反应腔内提供半导体器件，然后向反应腔内通入含有1-乙烯基-N-(乙烯基二甲硅基)-1,1-二甲基硅胺的CO2超临界流体溶液，使溶液与多孔超低介电常数层接触。

参考文献

[1] [中国发明] CN200910164769.6 四甲基二乙烯基二硅氮烷的制备工艺

[2] [中国发明] CN201210187162.1 四甲基二乙烯基二硅氧烷转化四甲基二乙烯基二硅氮烷制备工艺

[3] CN201110431560.9处理多孔超低介电常数层的方法