之前看苏州大学康振辉教授的方法,但其中用到直流电源,我们实验室没有,所以没有考虑。
? ?又看到湖南师范大学的张友玉教授带的几个博硕论文,也是用电化学刻蚀法。 但他们用的是CHI660A
电化学工作站,针对这个,小弟有几个问题,敬请高手解答:
? ?(1)其中,“一块5.0 cm长(面积约5 cm2)
硅片作为工作电极,碳电极(直径为5 mm)作为参考电极和对电极“, 此处的碳电极作为参考电极和对电极, 三电极体系如何组装?
? ?(2)其中,组装好三电极后,”在i-t模式下进行刻烛,初始电压约7-10 V,电流密度保持在4-10 mA cm2的范围内。”? ?此处的i-t模式指的是什么?是时间电流曲线吗?怎么设置参数?
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