羧酸氟化物和全氟化酮可以通过电化学氟化（ECF）制备相应的烃羧酸（或其衍生物）如十一氟己酸甲酯，使用无水氟化氢或KF.2HF作为电解质。然而，SimonsECF的缺点是经常发生副反应，并且由于重排和降解产物的形成，通常获得低纯度和低产率。十一氟己酸甲酯可用于一种用于磁控溅射的掺氟氧化锡靶材的制备方法。该方法包括以下步骤：在高温条件下，将锡化合物与十一氟己酸甲酯气化后混合，并由载气将此混合气体带至高温反应器中，在反应器内壁或底部生成FTO结晶或粉末。然后，将此FTO结晶或粉末进行研磨、压片，即可得到用于磁控溅射的掺氟氧化锡靶材。该靶材具有高致密性和高均匀性。
制备部分氟化的前体酯十一氟己酸甲酯的方法是用450mL三氟乙酸和50mL浓H2SO4处理510g正己醇。通过F2氟化97g前体，可以生产全氟化酯十一氟己酸甲酯。使用三板Snyder柱除去酯的FreonTM113溶液，得到粗全氟化酯产物。将产物与30mL三甘醇二甲醚混合，加入KF后，蒸馏液体产物全氟己酰氟，得到沸点为60-64℃的n-C5FuCOF。通过甲醇处理气体和液体产物的样品，可以得到甲酯十一氟己酸甲酯，并通过气相色谱法进行确认。
[1]CN201410048945.0用于磁控溅射的掺氟氧化锡靶材及其制备方法
[2](WO1995025082)PROCESSFORCONVERTINGPERFLUORINATEDESTERSTOPERFLUORINATEDACYLFLUORIDESAND/ORKETONES
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