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如何生长五氧化三钛晶体? 1

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五氧化三钛(Ti3O5)是一种利用先进真空烧结技术生产加工而成的光学镀膜材料。它具有高折射率、电阻小、附着力强、不容易喷溅等优点,适用于滤光片、冷光源涂层、增透膜等领域。

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性质与应用

五氧化三钛(Ti3O5)晶体属于斜方晶系,具有类金属特性和很高的导电性。它可以用作电极材料来替代贵金属,价格低廉且耐酸碱腐蚀性强。目前,Ti3O5广泛应用于光电子器件的制造,如显示技术、成像技术和光输出器件等。T12膜层具有高折射率、良好的稳定性和牢固性。

生长Ti3O5晶体的方法

过去,人们主要使用T12膜料来蒸镀T12涂层,但这种膜料在加热和预熔过程中会释放大量氧气,导致溅射现象且难以得到均匀的膜层。随着研究的深入,人们发现T12膜料预熔后其化学组成约为Ti3O5,从而会释放大量氧气。因此,使用Ti3O5作为蒸镀材料可以避免这些问题,得到均匀且折射率稳定的高性能膜层。Ti3O5膜料已逐步取代T12膜料成为高折射率膜料的主要选择。

目前,用于制备T12涂层的Ti3O5膜料大多是多晶陶瓷。然而,多晶陶瓷Ti3O5容易引入杂质,形成气孔,并且难以保证成分和结构的均匀性,这对制备高质量的T12薄膜起着决定性的作用。因此,为了满足光电应用对高质量Ti3O5材料的需求,需要一种能够以较低成本生长Ti3O5晶体的方法,以便进行工业化生产。

一种生长五氧化三钛多晶的垂直温梯法生长方法包括以下步骤:

(1)将T12和Ti按Ti3O5化学组成配料,混合均匀、压块;

(2)将步骤(I)得到的压块料装入坩祸中,坩祸转移至垂直温梯炉内,对整个系统进行升温并抽真空至10—3-10—4Pa,当炉温达到1400-1700°C时充入惰性保护气体Ar气,继续升温至设定温度,设定温度在1800-1850°C的范围内;

(3)炉温达到设定温度后,保温3-6小时,使原料充分熔化,然后以15-30°C/小时的速率缓慢降温,待晶体生长完毕后取出晶体。

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