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求助:请问磁控溅射制备LiPON薄膜为什么呈现深蓝色?

刚开始用磁控溅射方法制备LiPON薄膜,制成的薄膜总是呈现深蓝色,而且里面有小团簇,找不要原因。请各位有经验的朋友指点。非常感谢!
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共2个回答
薄膜的厚度是多少呢? 膜层厚度不同颜色不一样的
薄膜的厚度是多少呢? 膜层厚度不同颜色不一样的
很薄,大概100nm,同一炉样品,有的是透明的,有的就是深蓝色且有团簇。

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