关于负压抽气问题求助？

一个装置产气（理论上无氮气），我想主动收集气体，然后我采用蠕动泵调节一定转速，负压抽装置产气出口，但是蠕动泵另一侧收集到的气体中氮气含量特别多，已经保证了装置不漏气，怀疑可能是蠕动泵的管有问题，周期是1天半，这期间一直挤压管，导致管漏气。
想问一下还有其他方式来抽气体嘛？因为要保证一定的压力来抽，压力特别小，也就0.01mpa
有推荐的方法吗？