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求助（半导体器件加工方面）？

半导体器件加工所需要的设备和表征设备有哪些？

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共7个回答

清欢渡不归路，销售 2020-07-31回答

是要设立实验室么。
不是呀，先了解一下。

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着妆，工程设计 2020-07-31回答

是要设立实验室么。
我是学生，想提前了解一下。

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然后呢，后来，工艺专业主任 2020-07-31回答

光刻机，镀膜机，刻蚀机等，表征主要看你需要测试什么了，如IV,cv测试，表面SEM,TEM，FIB等
万分感谢！

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清悸书生仙迟，设备维修 2020-07-31回答

光刻机，镀膜机，刻蚀机等，表征主要看你需要测试什么了，如IV,cv测试，表面SEM,TEM，FIB等

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Zj，工艺专业主任 2020-07-31回答

这个太广了，补充一下94楼，加工还需要 CMP、离子注入、外延、快速热处理、炉管。这些是大类，还有细分。

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酒肆茶馆，副矿长 2020-07-31回答

是要设立实验室么。

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°黎薄丶°葑薄，给排水工程师 2020-07-31回答

我以前做石墨烯FET，交流一下

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