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求助：玻璃基板侧面金属沉积或溅射；孔内金属沉积 设备？

大家好，请问想在玻璃基板的侧面进行金属沉积，厚度大概1~2um，有什么设备可以实现吗？
比如对向靶材或者旋转蒸镀？有哪家的设备可以推荐？
另外在100um，深度500um的孔内沉积金属，有什么好的方法？
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共3个回答
占有，化工操作员 2019-04-26回答
时间有要求吗，要是没要求可以用ALD，他各种形状都能长，就是慢
ALD有些慢，膜厚有1um，有较快速度镀膜的推荐吗？
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鶴歸鶴辭，设备维修 2019-04-26回答
时间有要求吗，要是没要求可以用ALD，他各种形状都能长，就是慢

17 评论 0 举报
拉勾，电气/仪表工程师 2019-04-26回答
我这边可以

12 评论 0 举报
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