1100℃ 1500℃ 高温真空探针台温度稳定±1℃
样品台26x26mm 同时可用于光学测试电学测试
光学反射透窗距样品间距9mm
可扩展透视窗透孔2mm
电学测试4探针 外接3同轴bnc
腔体不锈钢材质 180x90x37mm上下面水冷
该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。
