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XRD无法检测出薄膜物相?

轴承钢衬底上PVD制备的AlN薄膜,在做XRD时检测出全是衬底的峰,问了相关老师说是薄膜太薄打透了,想问下各位大佬是如何解决此类问题的。

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共1个回答
你的膜有多薄?有50nm吗?太薄的话的确不容易出来,用掠入射试试看
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