热激发式CVD技术一些问题？

看了半天，作为一个毫无化学和材料基础的人，我已经昏了，有几个问题想要请教：（如图中一段话中）
1、有了碳和硅，为什么还要加入二氧化硅粉末作为硅源？
2、既然钨丝可以使硅和碳源发生热激发，为什么还要加热衬底？
3、衬底用硅晶片而不是其他材料是怕其他材料影响纯度吗？
4、这样制得的碳化硅纯度一般能达到多少？Fe会不会成为其中的一种杂质？

请各位大神不吝赐教，自学不易（大哭）