六氟丁二烯是一种重要的化学物质，被广泛应用于电子蚀刻气体领域。与其他氟碳化合物相比，六氟丁二烯具有更好的性能和环境友好性。
六氟丁二烯作为下一代蚀刻气体，与八氟环戊烯一起被认为具有竞争优势。它们在先进制程技术中具有高选择性和精确性，适用于对电子线路进行蚀刻。此外，六氟丁二烯还具有更高的对光阻和氮化硅选择比，且对环境影响较小。
六氟丁二烯的合成路径多样化，核心中间体包括六氟四氯丁烷、八氟二溴(碘)丁烷和三氟乙烯基氯(溴)化锌。起始原料包括氯代烃和含氟物质。
六氟四氯丁烷法是一种常用的合成方法，通过锌粉脱氯可以高产率地得到六氟丁二烯。八氟二溴(碘)丁烷法和三氟乙烯基氯(溴)化锌法也是合成六氟丁二烯的有效途径。
目前国内六氟丁二烯的供应较少，主要依赖海外厂商及其在国内的子公司。国内的一些项目正在建设中，预计将增加六氟丁二烯的产能。
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