正硅酸乙酯的性质及应用？ ¹

正硅酸乙酯是一种无色液体，具有特定的物理性质。它的熔点约为77°C，沸点约为168.5°C，密度约为0.9346克/厘米³。正硅酸乙酯在空气中相对稳定，微溶于水，而在酸或碱的存在下会加速水解作用。此外，与沸水反应可以得到无电解质的硅酸溶胶。下图为正硅酸乙酯的分子结构。

如何制备正硅酸乙酯？

通过在盐酸溶液的催化下，以正硅酸乙酯为原料进行水解缩合反应，可以制备硅树脂。然后，添加各种颜料、填料和助剂，以水为溶剂，制备环保型耐高温涂料。本研究还探讨了颜填料、二甲基甲酰胺、偶联剂和固化温度等对涂料性能的影响。实验结果表明，正硅酸乙酯制备的耐高温涂料具有优异的附着力和硬度。

正硅酸乙酯的应用领域

采用炉管低压正硅酸乙酯工艺制备的二氧化硅具有许多优点，如台阶覆盖率高、厚度均匀、低温等。因此，它被广泛应用于薄膜中间介质层、栅极晶体管间隔层和多晶硅互连线周围层等领域。

然而，由于液态正硅酸乙酯作为前驱体会产生复杂的副产物，制备过程中容易出现颗粒问题。具体来说，正硅酸乙酯制备二氧化硅的反应方程式为：Si (OC2H5) 4 = SiO2 + 4C2H4 + 2H2O。副产物C2H4和H2O的存在导致制备过程中容易产生颗粒。