双(三甲基硅基)胺,又称六甲基二硅氮烷、六甲基二硅胺烷或HMDS,分子式[(CH3)3Si]2NH。它是一种氨中两个氢原子被三甲基硅基取代的衍生物。这种物质是一种无色液体,也是有机合成和有机金属化学反应中广泛应用的重要试剂和主要成分。
双(三甲基硅基)胺可以通过三甲基一氯硅烷与氨气反应制得:
2 (CH3)3SiCl + 3 NH3 → [(CH3)3Si]2NH + 2 NH4Cl
由于双(三甲基硅基)胺会在潮湿空气中缓慢水解,该反应通常需要使用真空技术进行。
双(三甲基硅基)胺的碱金属化合物可以通过去质子化反应制得。例如,双(三甲基硅基)胺与丁基锂反应可以得到双(三甲基硅基)胺锂:
[(CH3)3Si]2NH + BuLi → [(CH3)3Si]2NLi + C4H10
双(三甲基硅基)胺锂、双(三甲基硅基)胺钠和双(三甲基硅基)胺钾都是非亲核碱,没有亲核性。
在微影技术中,双(三甲基硅基)胺常被用作增加光阻剂表面附着能力的增粘剂。在加热过的基板上使用气态的双(三甲基硅基)胺可以获得最佳效果。
在电子显微镜中,双(三甲基硅基)胺可以用作样品制备过程中的临界点干燥的干燥剂。
在裂解—气液色谱—质谱中,双(三甲基硅基)胺可以加入分析物中进行裂解,产生硅烷化分析产物,并通过极性官能团增强化合物的侦测性。