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想用旋转圆盘电极模拟一个CMP系统，还是直接用个旋转装置就行?

看了几个文献都是用旋转电极模拟的~~但是电极贵呀，能不能用旋转装置模拟~

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共3个回答

久病。解药。，工艺专业主任 2019-01-12回答

做得精密些才好，最早那帮哥们都是自己做的

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木樨当归，研发员 2019-01-12回答

旋转电极最核心的是旋转要稳定，否则无法达到要求。目前国外都是采用pine的旋转装置来做的，我手上正好有相关的paper，感兴趣可以站内联系我，

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大圣仙子，设备维修 2019-01-12回答

具体你要做什么实验啊，达到什么效果？

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