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三氯氢硅流化床法生产？

目前国内大多采用改良西门子法、少数采用硅烷法生产多晶硅。从降低消耗方面，改良西门子法在还原工序向流化床法发展。可否探讨与传统沉淀反应还原炉工艺相关消耗、技术、质量方面比较

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共1个回答

寡寒.，设备维修 2018-05-23回答

流化床就是有效反应面积比西门子还原炉大大提高了，另外不用先进行硅棒的击穿，籽晶进去可以直接用气体和炉内壁的加热器进行加热，而且可以进行连续生产，本质没什么很大差别，最后生产的粒状多晶硅在拉单晶时会方便一些

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