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关于光刻胶+掩膜+UV的光刻蚀的问题:是否做凹坑就本身比做凸起困难?

这里用的是1002F光刻胶,类似SU-8,受到紫外照射之后固化。厚度为200微米。

我们发现,用同样精度的两种光掩模,一种是透明底上的黑点,一种是黑底上的白点。白点的光刻效果(凸起)会比黑点的效果(凹坑)好很多。但是我们需要的微结构最好是凹坑,请各位大神指导一下,如何提高这里凹坑的光刻效果
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