一、爬锅现象是指:电子束在石墨坩埚中蒸发铝时,未形成小锭状,而是沿着坩埚壁溢出。
二、出现爬锅现象的原因:铝的密度较小,电子束功率过大,且电流增加过快,导致爬锅现象发生。
三、针对爬锅现象的建议:控制功率大小与电流增加速度。电流缓慢增加,功率不要太大。
电子束蒸发镀铝采用氮化硼坩埚,电子束会出现闪射主要原因在于氮化硼完全不导电,电子束到坩埚后有部分剩余,正常情况下,电子能够从坩埚导走,但是氮化硼绝缘性非常好,电子累积在坩埚,导走同性相互排斥,电子枪电子束开始闪射。
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